Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций #570235

Авторы:
; ;
Жанры:
Электроника; Прочая образовательная литература
Агент:
Литагент НИТУ «МИСиС»
Формат:
PDF книга
Объем:
192 стр
Язык книги:
русский
Год написания:
2008
Аннотация:

В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.

Читать фрагмент книги - Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

Другие произведения автора - Геннадия Кузнецова 14
Ионно-плазменная обработка материалов (Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Кушхов Аскер Русланович)
ru
Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Кушхов Аскер Русланович
Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы (Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Кушхов Аскер Русланович, Сергиенко Андрей Алексеевич, Харламов Николай Александрович)
ru
Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Кушхов Аскер Русланович, Сергиенко Андрей Алексеевич, Харламов Николай Александрович
Микроэлектроника. Компьютерное моделирование параметров полупроводниковых компонентов микроэлектроники (Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Рабинович Олег Игоревич, Сушков Валерий Петрович)
ru
Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Рабинович Олег Игоревич, Сушков Валерий Петрович
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций (Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Курочка Александр Сергеевич, Курочка Сергей Петрович, Сергиенко Андрей Алексеевич, Симакин Сергей Борисович)
ru
Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Курочка Александр Сергеевич, Курочка Сергей Петрович, Сергиенко Андрей Алексеевич, Симакин Сергей Борисович
Элионная технология в микро- и наноиндустрии (Билалов Билал Аругович, Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Кушхов Аскер Русланович)
ru
Билалов Билал Аругович, Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Кушхов Аскер Русланович
Другие произведения автора - Сергея Симакина 1
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций (Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Курочка Александр Сергеевич, Курочка Сергей Петрович, Сергиенко Андрей Алексеевич, Симакин Сергей Борисович)
ru
Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Курочка Александр Сергеевич, Курочка Сергей Петрович, Сергиенко Андрей Алексеевич, Симакин Сергей Борисович
Другие произведения автора - Дарьи Демченковой 1
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы (Демченкова Дарья Николаевна, Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Курочка Александр Сергеевич, Курочка Сергей Петрович, Кушхов Аскер Русланович)
ru
Демченкова Дарья Николаевна, Кузнецов Геннадий Дмитриевич, Курочка Александр Сергеевич, Курочка Сергей Петрович, Кушхов Аскер Русланович

Оставьте свой отзыв!

Ещё никто не оставлял свой отзыв. Будьте первым!